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ICP光譜儀氣體控制系統(tǒng)主要有凈化裝置和氣體流量控制裝置，有的還有制冷裝置。
系統(tǒng)是否穩(wěn)定正常的運行將關(guān)系到儀器測定數(shù)據(jù)的重現(xiàn)性和再現(xiàn)性，嚴(yán)重時影響儀器的使用壽命，因此該系統(tǒng)維護(hù)保養(yǎng)是至關(guān)重要的。對于凈化裝置檢查操作者要觀察干燥劑是否變色(檢查周期為1個月~2個月)，如果出現(xiàn)干燥劑變色，必須小心地將干燥管拆卸下來在120°C烘箱內(nèi)烘干(8~12)h，干燥劑顏色回復(fù)原色即可安裝使用;如果沒有恢復(fù)原色，說明干燥劑失效，建議更換干燥劑;特別注意是，有的儀器干燥管安裝在隱蔽地方，操作不宜觀察和操作，對于這種ICP光譜儀，操作者應(yīng)該請儀器制造廠家人員來操作。
對于氣體流量控制裝置要定期(一般半年)檢查塑膠管路是否老化泄漏，管路接頭是否漏氣，氣體流量計和氣壓指針是否正常;如果聽到管路泄氣的聲音，必須檢測塑膠管子和各個接口，檢查漏點的方法是：用洗滌劑水滴加載塑膠管和各個接頭上，看是否產(chǎn)生大氣泡來確定漏點。漏點確定后，根據(jù)漏點位置決定更換塑膠管或者給管路接頭纏生料帶來解決漏點問題;在檢查氣體管道時，還要注意氣體管道接入進(jìn)樣系統(tǒng)時，各個載氣管道連接塑膠管長短要適應(yīng)，管子太長容易形成彎曲影響氣體流量穩(wěn)定，氣體形成脈動影響數(shù)據(jù);對于制冷裝置應(yīng)該經(jīng)常清洗過濾網(wǎng)積灰，和定期更換水冷卻，保證制冷劑正常運行，以上工作可由操作者完成，除此之外，氣體流量計、氣壓表和電磁閥也應(yīng)該檢測，如果出現(xiàn)故障應(yīng)該由本單位專業(yè)維護(hù)人員及時更換。
