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雖然儀器的靈敏度在一定范圍內波動，但仍有一合理的波動范圍，如信號強度或測量RSD異常應注意檢查。在ICP光譜儀上測量的樣品應確保無沉淀或懸浮物，必要時應重新過濾，一此粒很細的膠體溶液應離心，以免發生霧化器堵塞。過高鹽分的樣品應適當稀釋后才能測定。批量樣品的測定應注意樣品間應用稀的酸或去離子水清洗，個別高含量的樣品應稀釋后重新測定，并注意清洗足夠的時間，以避免污染下一個樣品。等離子體光譜儀屬于精密光學儀器，對環境的溫度有一定的要求，如果溫度變化太大，光學元件受溫度變化的影響就會產生譜線漂移，儀器尋峰不準 ，尤其是單道掃描型的儀器，甚至有時候會找不到峰。測量標準和樣品時的溫差大的話會造成測定數據不穩定，一般室溫要求維持在20～25攝氏度間的一個固定溫度，溫度變化應小于±3/小時即可。一般空調就能達到，這也要求放置儀器的房間要適中。